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光波干涉法与平晶的应用
_、光波干涉法
平时观察肥皂泡沫或水面上的油膜时，可看到薄膜表面有许多美 丽的彩条纹。当把光学平晶接触被测平面并形成一个很小的楔角时, 也能通过平晶在被测表面与平晶的研合面上看到彩（或黑白）的条 纹，这就是光波干涉现象。光波干涉的原理简单地说，就是当两束光 波到达某些点时，若波峰与波峰、波谷与波谷相遇时（见图1—1）, 则会因重叠使振幅加强，产生亮带；且当到达另外一些点时，若波峰 与波谷相遇（见图1 — 2）则会使振幅抵消或减弱，产生暗带。这种 明亮、暗淡相见的条纹即是光波干涉带。
观测干涉带的形状和条数，可检定出被测表面的不平度和两平面
间的不平行度。例如，对量块与平板工作面不平度和千分尺两测量面 间的不平行度的检定。这种利用光波干涉原理进行测量的方法，称为 光波干涉法。
光波干涉法可用平面平晶、平行平晶、等厚平面干涉仪、等倾平 面干涉仪和激光平面干涉仪等多种量仪来测量被测平面的不平度和 不平行度误差。由于采用平晶法可直接观测，操作简便、测量精确度 高且经济可靠，所以被广泛地应用。
二.平晶的种类及其应用
平晶采用光学均匀性好的派利克斯玻璃、水晶玻璃和折光系数为 1.516的光学玻璃制成。它的形状为正圆柱体，其中有一个端面或两 个端面均为工作面。平晶按其用途可分为平面平晶和平行平晶。
（一）平面平晶
平面平晶的规格如表所列。    单位：mm
直径
4)60
二级建造师挂靠协议4)80
4>100
4)150
4)200 和 4)300
厚度
20
25
25
25
30以上
平面平晶的精度等级分1级和清朝八旗2级两种。文件隐藏
平面平晶分上平晶和下平晶。上平晶只有一个工作面，其上有倾 斜10° ~12°的截平面并有两条相互垂直的刻线。下平晶有一个或两 个工作面（这两个工作面间的平行性要求不严格）。
平面平晶可以检查量块及某些量具定位面与测量面的不平度、量 块的研合性和用比较法测量量块的中心长度；也可作为标准平面使用。
（二）平行平晶
平行平晶具有两个平行性要求很高的工作面，主要用来测量两内 平面间的不平行度。
我国生产的检定千分尺的专用平行平晶的系列，每组的四块平行 平晶的尺寸尾数相差0.12~0.13mm,这是考虑千分尺测微螺杆的螺距 t=0.5mm,在整圆周角位移转变为直线位移的行程中，将0.5mm均分 三段四点检定（即器=0.125mm）,使每一检定位置的相位相差90°。 根据检定的千分尺量限，四个系列的平行平晶分别来检定0~25、 25~50、50~75和75~100mm四个规格的外径千分尺。
三、平晶的应用
根据等厚干涉原理，在同一条干涉带上，被测表面到平晶表面的 距离是相等的，明暗干涉条带的排列形状实际上就是被测表面的等高 线图。
若干涉条纹是直的而且间距相等，表明被测表面是平直的，但与 平晶表面不平行（见图2）,当清除空气楔后，干涉条纹消失，表示 平晶工作面紧贴于该表面上。
小满诗句若干涉条纹是弯曲的，表明被测表面不平，干涉条纹的弯曲程度 表示了该表面不平度的大小。判断被测表面是凸形还是凹形的方法是: 当接触线在干涉条纹所形成的弯曲弧线里边时，则表明该表面是凸形 的（见图3）；倘若在外边，则表明该表面为凹形的（见图4）。
若干涉条纹呈椭圆排列，表明被测表面是桶形的。若干涉条纹呈 圆形，表明被测表面是球形的。当检测光整的球面时，如在单光照
射下，呈现出的等厚干涉条纹将是一组同心圆环（见图5）。
图3中。a表示干涉条纹的宽度，它是两条相同条带中心点所表 示的两点之间的高度差，等于所用光束波长的一半。b表示干涉条纹 的弯曲量，它是以b相当于干涉条纹宽度远程教育工作总结a的几分之几或几倍来表示 的，通常把干涉条纹的弯曲量称为若干条光干涉带。在白光下（自然 光），一条光干涉带约等于0.3微米。
为了检定被测表面的平面性如何，可通过观测光干涉带的弯曲程
度，根据来确定其数值。图4手机文件夹加密示例，表明被测表面是凸形的，其 a 2
不平度的误差大小为：
h=-X-=0.5X0.3^0.15 （微米）
a 2
既被测表面正赛A——A直线出凸出半条干涉带。

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