Quanta FEG 450场发射扫描电镜操作指南
1 样品准备
1) 样品确保无磁性，无腐蚀性和放射性，且干净无污染等，物理和化学性质稳定。
鼠标加速2) 粉末样品分散均匀，分散到导电胶或样品托上后先用手轻磕，并用空气吹干净未粘牢的粉末，然后用热吹风吹干。
3) 不导电样品需要提前导电处理，如样品表面喷金。
2 样品放入
4) 破真空：点击Vent （右图），待右下角真空状态条的绿标记由绿——橙——灰（本步骤需大约等待几分钟）打开仓门时动作要轻缓，如遇打不开时不能强行打开，及时和管理老师联系。
5) 放置样品：将样品按顺序放置并记录放置位置（样品台上有数字提示），样品放置不能超出样品台范围，样品的最高面高度需保持一致，否则需分批测试。
6) 抽真空：确认样品与极靴之间的距离大于10mm后轻轻关上样品室仓门，并用手轻扶仓门，并点击Pump按钮抽真空。
7) 调整工作距离：激活CCD窗口（选中CCD窗口，即可以观察样品的相机窗口），在CCD窗口中摁住鼠标的滚轮，向上拖动样品台到最佳工作距离10mm（样品最高面与极靴的距离），升样品台之前确认样品台是正中位置，升样品台确保所有试样与极靴之间的距离不能超过黄警戒线10mm。
3 样品的观察
1） 圣诞节歌词开启加速电压：首先确保气压（左图Chamber Pressure）已经低于5e-3Pa ，然后点击Beam On（右图）
2） 选择样品：激活导航窗口（CCD窗口左边），双击放置样品的位置，选中试样，然后激活SE窗口（CCD窗口上方），进行位置调整。此时需要加高压则逐渐加高压。双击鼠标左键移动样品位置。
3） 调整亮度对比度：点击，用键盘“+” “-”进行倍数的调整，或在界面输入需要的放大倍数。
4） 聚焦：点击工具栏正方形框Reduced Area进行选区聚焦和消象散，鼠标右键左右拖动进行聚焦调节，Shift+鼠标右键进行消象散调节，先x方向消象散，后y方向消象散，后再聚焦，可重复多次，直至像清晰为止
车前子价格5） 拍照：点击工具栏正方形选区框Reduced Area去框，选择合适的扫描速度10us进行图像扫描，图像清晰后按下暂停键||，图像扫描结束后点击工具栏file选择save as，选择D盘SEM data文件夹保存图片，再次按下暂停键||解锁窗口，重新选择新的区域拍照。
4 结束观察
今年建党多少周年新义安老大1） 软件设置重置：将放大倍数调整最小，逐渐降低电压至500v，点击Beam on 关闭束流，
听到噗的一声响后点击Vent充气，将样品台回归原位。
2） 取回样品并重新抽真空：点击Vent 进行充气，待右下角真空状态条的绿标记由绿——橙——灰。将样品室轻轻打开，将样品取出后，轻推样品室关上，并点击Pump 进行抽真空，样品观察测试结束。（除非后续试验人员要求顺便放入样品，否则必须抽真空）
3） 铿锵有力的意思清理样品台：用酒精清洗样品托，整理制样台，打扫实验室卫生，关闭实验室灯光，关好门窗。
如遇特殊情况，请联系仪器管理老师，切勿自行处理。
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