微晶玻璃和碳化硅反射镜加工工艺基础研究
RB silicon carbide.
4.An optimized scheme on optical manufacture of RB silicon carbide is set up and through this a qualified mirror with good surface roughness of silicon carbide is processing out.
So through the research conclusions and experimental data of this thesis,the choice of abrasive size,abrasive tool and removal depth of polishing can all be guided in optical manufacture of glass ceramic and silicon carbide mirror.
Key words:Glass ceramic;Silicon carbide;Grinding;Polishing;Surface topography
Written by Lingjie Peng
Supervised by Peiji Guo
目录
男男开车的句子第1章绪论 (1)
游戏霸气的名字
1.1课题研究的背景与意义 (1)
1.2国内外现状 (3)
1.3论文主要内容 (8)
第2章研磨去除机理和破坏层深度确定方法及其实验设备介绍 (10)
2.1研磨去除机理 (10)
2.2研磨破坏层深度确定方法 (11)
粗组词语2.3实验仪器介绍 (12)
2.4本章小结 (15)
第3章微晶玻璃反射镜加工工艺基础研究 (16)
3.1研磨微晶玻璃毛坯的表面破坏层深度确定方法 (16)
钢铁是怎样炼成的主要内容3.2不同研磨工艺条件下微晶玻璃表面形貌分析 (17)
3.3不同研磨工艺条件下微晶玻璃毛坯表面破坏层深度 (18)
3.3.1W10金刚砂铸铁盘研磨微晶玻璃毛坯表面破坏层深度 (18)
3.3.2W14金刚砂铸铁盘研磨微晶玻璃毛坯表面破坏层深度 (18)
3.3.3W10金刚砂K9盘研磨微晶玻璃毛坯表面破坏层深度 (19)
3.3.4W14金刚砂K9盘研磨微晶玻璃毛坯表面破坏层深度 (20)
3.4实验结果与分析 (21)
3.5本章小结 (22)
第4章碳化硅反射镜加工工艺基础研究 (23)
4.1抛光磨料的选择及实验研究中抛光方案确定 (23)
4.2研磨碳化硅试验件的表面破坏层深度确定方法 (27)
4.3不同大小碳化硼磨料研磨碳化硅的去除效率 (28)
4.4不同大小碳化硼磨料研磨碳化硅的表面形貌 (29)
4.5碳化硼磨料研磨碳化硅的表面破坏层深度及表面粗糙度分析 (31)
4.5.1W3.5碳化硼研磨碳化硅的表面破坏层深度及表面粗糙度分析 (31)
4.5.2W5碳化硼研磨碳化硅的表面破坏层深度及表面粗糙度分析 (32)
4.5.3W7碳化硼研磨碳化硅的表面破坏层深度及表面粗糙度分析 (34)
4.5.4W10碳化硼研磨碳化硅的表面破坏层深度及表面粗糙度分析 (35)
4.5.5W14碳化硼研磨碳化硅的表面破坏层深度及表面粗糙度分析 (37)
4.5.6W28碳化硼研磨碳化硅的表面破坏层深度及表面粗糙度分析 (38)
4.6不同粒度碳化硼磨料研磨碳化硅的表面破坏层深度规律 (40)
4.7不同粒度碳化硼磨料研磨对抛光后表面粗糙度的影响规律 (42)
4.8本章小结 (43)
第5章碳化硅反射镜加工工艺优化 (45)
5.1碳化硅研磨及抛光工艺方案分析优化 (45)
5.2工艺方案实验及工艺中的碳化硅表面形貌及结果 (47)
5.2.1研磨实验 (47)
5.2.2抛光实验及结果 (49)
5.3本章小结 (50)
第6章总结和展望 (51)
6.1全文工作总结 (51)
6.2展望 (51)
参考文献 (52)
碳化硅用途攻读硕士期间公开发表的论文 (56)
致谢 (57)
第1章绪论
1.1课题研究的背景与意义
微晶玻璃又称玻璃陶瓷，是一种多晶硬脆材料。它既含有玻璃相，具备玻璃的基本性能，又存在结晶相，兼具了陶瓷的优势特点。因此，它比单纯的玻璃和陶瓷有着更广阔的应用前景和研究价值。在临床医学上，微晶玻璃可以充当修复材料，以其良好的生物相容性被认为是较理想的骨齿替代品。在建筑装饰领域，微晶玻璃以其不褪、抗腐蚀、高强度等性能被广泛应用于建筑装饰用的高级板材中[1,2]。
而在光学应用领域中，微晶玻璃以其极低的热膨胀系数、良好的导热性能、透光性和相对较好的可加工性被认为是大型望远镜制造的绝佳材料[3]。图1-1为世界上最大的施密特天文望远镜LAMOST，该望远镜于2008年10月16日投入使用，可同时观测4000多个天体的光谱，是世界上光谱获取率最高的望远镜。这个天文望远镜的核心部分是一个直径达6米的主镜，由37块六角形“ZERODUR”微晶玻璃镜坯单元拼接而成[4]。“同温层红外天文台（SOFIA）”[4]如图1-2所示是由美国宇航局历时十三年研制和建造的新型高空天文台，该天文台重20吨，其主镜是由微晶玻璃制成的，主镜口径达到2.5米。它搭载于一架经大幅改装的波音747SP型飞机之上，透过机身的望远镜舱舱门，红外望远镜能够更清晰地观测和研究各种天文现象。
图1-1LAMOST望远镜图1-2同温层红外天文台
碳化硅的用途同样十分广泛，在机械加工领域可用来制成磨具，在冶金领域可作为脱氧剂和耐高温材料使用，在半导体加工领域可用来制造碳化硅纤维等。而在光学制造领域，由于其具有非常优异的力学、热、化学等性能，在克服了光学加工困难之后必将成为制作空间反射镜、大型地基反射镜的最佳材料。
赫谢尔（Herschel）太空望远镜由欧洲航天局（European Space Agency,ESA）于2009年发射，是当今世界上最大的太空成像望远镜。它是卡塞格林式望远镜，工作波段为80~600µm。它的主反射镜、二级反射镜、六角支撑结构均采用法国Boostec 公司制备的反应烧结碳化硅[5]，整个系统的总质量只有300kg，其中主反射镜直径为3.5m，质量为210kg，分成12片，采用铜焊技术连接，其实物照片如图1-3所示。图1-4所示为坐落于西班牙加那利岛的格雷戈尔（GREGOR）望远镜，该望远镜专门用于太阳观测，其主镜、次镜、副镜均是由德国KIS、ASTRI与ECM公司合作研制的C/SiC陶瓷基复合材料制成的，其中主镜直径为1.5m[6]。上海正规的装修公司
图1-3赫谢尔望远镜分块镜图1-4GREGOR太阳望远镜综上所述，微晶玻璃和碳化硅在众多领域都有着及其广泛的应用，尤其是在空间光学反射镜制造领域中，更是离不开微晶玻璃和碳化硅。研磨和抛光是微晶玻璃和碳化硅反射镜制造中必不可少的重要工序，研磨的作用是为了去除镜坯表面粗大颗粒和获得一定精度的面形，由于研磨工序本身的原因，研磨过后会对试件造成损伤，即在试件表面以下一定深度内存在着裂纹，划痕等缺陷，该深度称为研磨破坏层深度。这些缺陷会严重影响材料的光学、机械性能，例如表面缺陷的存在会导致入射光发射散射，影响成像质量并且表面缺陷直接影响了材料的机械强度，在太空等苛刻的环境下

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