氯硅烷性质
氯硅烷性质
氯硅烷简介
1.别名·英文名
二氯硅烷;DichIorosilane.
2.用途:
电子气、外延、化学气相淀积。
3.制法:
(1) 硅烷或一氯硅烷在三氯化铝存在下与氯化氢反应。
(2) 在高温下,硅与氢及氯化氢反应,再精馏提纯。
理化性质
分子量:101.010 熔点:-122.0℃沸点(101.325kPa):8.2℃
液体密度(25℃,101.325kPa):1220kg/m
气体密度(25℃,101.325kPa):4.168kg/m
苯的化学性质
相对密度(气体,空气=1,25℃,101.325kPa):3.52·
比容(21.1℃,101.325kPa):0.2391m/kg
气液容积比(15℃,100kPa) 290L/L
临界温度:176.0℃临界压力:4676kPa 临界密度:463kg/m3
气化热(8.4℃,101.325kPa):249.kJ/kg
比热容(25℃,气体):Cp=611.27J/(kg·K) 蒸气压(-20℃):31.4kPa (0℃):81.1kPa (20℃):167.2kPa 粘度(气体,20℃,101.325kPa):0.0163mPa·s 表面张力(20℃):11.9mN/m 空气中可燃范围(20℃,101.325kPa): 4.1%~98.8%(体积) 自燃点:100.0℃
二氯硅烷在常温常压下为具有刺激性窒息气味和腐蚀性的无有毒气体。空气中易燃,100
℃以上能自燃,燃烧氧化后生成氯化氢和氧化硅。加热至100℃以上时会自行分解而生成盐酸、氯、氢和不定性硅。施以强烈撞击时也会自行分解。在湿空气中产生腐蚀性烟雾。遇水水解生成盐酸和聚硅氧烷(SiH2O)4。可溶于苯、醚和四氯化碳。与碱、乙醇、丙酮起反应。即使接触小量卤素或其它氧化剂也会发生激烈反应。与三烷基胺、吡啶形成加成化合物。与三氟化锑反应生成氟硅烷。编辑本段三、毒性有毒气体范围:>0.25ppm 嗅觉浓度:~1ppm 刺激性浓度:~10ppm
最高容许浓度:0.5ppm(2mg/m) 二氯硅烷的毒作用主要是由它在湿空气中的水解产物氯化氢引起的。因此,人吸入后激烈刺激呼吸道,引起呛咳、呼吸道发炎、喉痉挛和肺水肿,触到眼睛可引起流泪并导致眼灼伤。接触皮肤可引起化学烧伤。液态二氯硅烷也可引起冷烧伤。编辑本段四、安全防护可把二氯硅烷看作火源,禁止在任何火灾危险区存放钢瓶或敷设二氯硅烷的管道。气体用钢瓶贮装,钢瓶要存放在阴凉干燥通风的室外或强制通风的室内,要远离氧化剂、火源和热源。设备管道等使用前须脱水和密封。可用氦探漏器、氨或本身的窒息性气味来检漏。所有设备管道要接地。设备或装置暂时不用或延长停产时间时,应把二氯硅烷放出来,充入干燥的惰性气体。
有水分时二氯硅烷呈强酸性,腐蚀性极强。对无水二氯硅烷可用铁、低合金钢、镍钢、铜镍合金、镍、海帕伦、蒙乃尔、银、金、铂、钽。不能用铝、铝合金、铜硅合金、黄铜等。可以用聚四氟乙烯、聚三氟氯化乙烯聚合体、天然橡胶、玻璃、瓷料、石墨等。但是在二氯硅烷可能燃烧的地方避免使用可燃性材料。当发生火灾时,首先要关闭气瓶阀,断绝气源。灭火时,如果用水,则产生大量氯化氢,如果用碱性粉末,则产生氢气,因此这两者都不可用。可以用二氧化碳和砂子。废气可用水或苛性钾等碱液吸收,可以用相应的吸附剂吸附,也可以在严格控制下燃烧。
三氯氢硅(SiHCl3)基本信息
1.别名·英文名
硅氯仿、硅仿、三氯硅烷;Trichlorosilane、Silicochloroform.三氯氢硅
2.用途
多晶硅、单晶硅原料、外延成长、硅液、硅油、化学气相淀积、硅酮化合物制造电子气。
3.制法
(1) 在高温下Si和HCl反应。
(2) 用氢还原四氯化硅(采用含铝化合物的催化剂)。
(3) 用氢、硅粉、四氯化硅反应。
理化性质
分子量:135.43 熔点(101.325kPa):-134℃;沸点(101.325kPa):31.8℃;液
体密度(0℃):1350kg/m3;相对密度(气体,空气=1): 4.7;蒸气压(-16.4℃):13.3kPa;(14.5℃):53.3kPa;燃点:-27.8℃;自燃点:104.4℃;闪点:-14℃;爆炸极限:6.9~70%;毒性级别:3;易燃性级别:4;
化学性质
三氯硅烷在常温常压下为具有刺激性恶臭易流动易挥发的无透明液体。在空气中极易燃烧,在-18℃以下也有着火的危险,遇明火则强烈燃烧,燃烧时发出红火焰和白烟,生成SiO2、HCl和Cl2:SiHCl3+O2→SiO2+HCl+Cl2;三氯硅烷的蒸气能与空气形成浓度范
围很宽的爆炸性混合气,受热时引起猛烈的爆炸。它的热稳定性比二氯硅烷好,在900℃时分解产生氯化物有毒烟雾(HCl),还生成Cl2和Si。
遇潮气时发烟,与水激烈反应:2SiHCl3+3H2O—→(HSiO)2O+6HCl;
在碱液中分解放出氢气:SiHCl3+3NaOH+H2O—→Si (OH)4+3NaCl+H2;
与氧化性物质接触时产生爆炸性反应。
与乙炔、烃等碳氢化合物反应产生有机氯硅烷:
SiHCl3+CH≡CH一→CH2CHSiCl3 、SiHCl3+CH2=CH2—→CH3CH2SiCl3 在氢化铝锂、氢化硼锂存在条件下,SiHCl3可被还原为硅烷。容器中的液态SiHCl3当容器受到强烈撞击时会着火。可溶解于苯、醚等。无水状态下三氯硅烷对铁和不锈钢不腐蚀,但是在有水分存在时腐蚀大部分金属。
在高温条件下,三氯氢硅能被氢气还原生成硅SiHCl3 +H2==高温=Si +3HCl 编辑本段毒性及急救措施小鼠-吸入LC50:1.5~2mg/L 最高容许浓度:3mg/m3 皮肤接触:立即脱去被
污染的衣着,用流动清水彻底冲洗至少15分钟,就医。眼睛接触:立即提起眼睑,用流动清水或生理盐水彻底冲洗至少15分钟,就医。吸入:迅速脱离现场至空气新鲜处。保持呼吸道畅通,如呼吸困难,给输氧。如呼吸停止,立即进行人工呼吸,就医。食入:误服者用清水漱口,给饮牛奶或蛋清,就医。安全防护
液体用玻璃瓶或金属桶盛装,容器要存放在室外阴凉干燥通风良好之处或在易燃液体专用库内,要与氧化剂、碱类、酸类隔开,远离火种、热源,避光,库温不宜超过25℃。可用氨水探漏。火灾时可用二氧化碳、干石粉、干砂,禁止用水及泡沫。废气可用水或碱液吸收。三氯硅烷有水分时腐蚀性极强。可
用铁、镍、铜镍合金、镍钢、低合金钢,不能用铝、铝合金。可以用聚四氟乙烯、聚三氟氯乙烯聚合体、氟橡胶、聚氯乙烯、聚乙烯、玻璃等。
三氯氢硅生产的火灾危险及对策
一、三氯氢硅生产的火灾危险性分析
1、电解食盐水的火灾危险性
(1)电解时有强大的电流通过,如果电气的绝缘不良极易产生电火花,电解车间经常有氢气泄漏,遇到电火花或其它明火会发生燃烧或爆炸。
(2)如氢气与相混,达到爆炸极限范围,遇光也会发生爆炸。
2、三氯氢硅合成的火灾危险性
SiHCl3的合成是在280℃~300℃的温度下进行的,已经超过了SiHCl3的自燃温度175℃,在合成过程中如果SiHCl3发生泄漏,或者空气进入反应器,极易引起燃烧、爆炸或中毒事故。并且SiHCl3有毒、遇水燃烧,给火灾扑救带来一定的困难。
3、三氯氢硅贮罐的火灾危险性
SiHCl3的贮罐如果发生泄漏,其危险性远远大于工艺管道泄漏的危险性,因为其贮量大,一旦发生泄漏,如果不及时堵漏,影响会不断扩大。贮罐区因为冷却用水的需要,经常有水存在,泄漏的SiHCl3遇水发生反应,产生有毒的HCl,向四周扩散,给抢险救援工作带来困难.
二、防火防爆对策
在三氯氢硅生产的各个工序中,为防止火灾、中毒,要严格执行各项消防安全制度,严格控制工艺指标,严格操作规程。加强对设备管道的维护保养,严防跑、冒、滴、漏。
具体预防措施如下:
1、火源管理。在生产中进行检修时使用的工具应该是不产生火花的工具,严禁用铁器敲打设备或管道,工作人员应穿棉制品工作服。生产和贮罐区禁止明火,生产中动火要严格执行有关安全管理制度。
2、防止跑、冒、滴、漏。生产过程中产生的大都是易燃易爆有毒物质,生产设备、工艺管道和贮罐如果发生泄漏极易酿成火灾、爆炸和中毒事故。因此,日常工作中要做好安全检查,不留死角,设备要定期检修,发现问题及时采取补救
措施,修复存在跑、冒、滴、漏的部位。
3、配置应急工具和消防设施。应该配备一定数量的防毒面具、自给式空气呼吸器、手套、堵漏工具。应急队的人员要经常进行演练,熟练掌握各种情况下的堵漏方法和处置措施。贮罐区常备干砂的量最好不少于一个贮罐的容积,厂内仓库存放一定的水泥作应急之用。
配备一定数量的手提式二氧化碳和干粉灭火器。

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