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电子化学品：国内领先电子化学品供应商，适时布局湿电子化学品
1含氟电子特气：产学研一体的含氟气体供应商
2湿电子化学品
电子化学品：国内领先电子化学品供应商，适
时布局湿电子化学品
1 含氟电子特气：产学研一体的含氟气体供应商
半导体国产替代拉动电子特气行业扩容。电子特气，即电子特种气体，是应用于电子工业生产中的特种气体，是超大规模集成电路、平板显示器件、太阳能电池、光纤等电子工业生产不可或缺的原材料，它们主要应用于薄膜、刻蚀、掺杂、气相沉积、扩散等工艺，几乎贯穿了整个半导体行业的生产过程，其质量直接影响电子半导体器件的性能优劣。电子特气占据晶圆制造成本的13.50%，为晶圆制造过程中仅次于硅片的第二大材料。
随着国内半导体生产企业技术不断取得突破，我国半导体国产替代进程开始逐步加快，已经成为全球最大的半导体市场，根据WSTS统计，2021年全球半导体销售达到5559亿美元，同比增长26.2%。其中中国销售额总额为1925亿美元，同比增长27.1%。国家相继发布《新材料产业指南》、《“十四五”和2035年远景目标纲要》，旨在推动包括电子特气在内的关键材料国产化。据商业和技术资讯电子材料咨询机构《TECHCET》报告显示，2021年全球电子特气市场营收达63亿美元，预计2022 年将再成长8%，到2026 年年复合成长率高达9%。增长的主要原因归功于半导体产业对于电子特气的需求。
图表 半导体产业材料市场规模占比
南宁电子科技广场图表 电子特气产业链
图表 电子特气主要品种及用途
图表 2018 年全球、中国电子特气市场分布格局
33%
14%
13%
6%
7%
4%3%7%13%
大硅片
电子气体光掩模光刻胶光刻胶配套试剂湿化学品
溅射靶材
抛光液和抛光垫
其他材料
电子特气市场被国际巨头垄断，国内厂家待突破。从市场份额来看，全球电子特气市场90%以上的份额由美国空气化工、德国林德集团（已于2018年与美国普莱克斯完成对等合并）、法国液化空气集团、日
本大阳日酸株式会社等四大气体公司控制，形成了寡头垄断的格局。而国内市场也出现大致相似的分布——几个跨国巨头主导了国内份额的88%，国内厂商仅占12%，半导体领域电子特气国产化率不足15%。从品种数量来看，根据中国工业气体工业协会统计，目前集成电路生产用的特种气体，我国仅能生产约20%的品种，其余均依赖进口。目前我国国内企业所能批量生产的特种气体仍主要集中在集成电路的清洗、蚀刻、光刻等工艺环节，对掺杂、沉积等工艺的特种气体仅有少部分品种取得突破。
图表 2017年中国电子特气市场占比
12%
25%
7%
16%
23%
17%
美国空气化工集团液化空气太阳日酸株式会社
普莱克斯集团林德集团国内气体公司
出现这样的情况，有多种因素导致。第一，早期半导体厂商均是外资独资或合资，技术和装备从国外直接引进，对国内的材料配套企业不具备带动作用，同时国内气体产品进入外资半导体厂商渠道困难，这导致我国电子气体产业发展较为落后，导致研发技术和配套上与国际巨头相比有明显的代差。在芯片制造中，气体纯度通常要求在ppt级别以上，电子气体杂质高将会严重影响芯片的良率，因此先进制程对于电子特气杂质的控制及质量稳定性提出了严苛的要求，在技术层面我国还需要加速追赶。同时，工业气体品种繁多，不同种类工业气体的生产工艺各不相同，且对其充装、配送等方面均提出了较高的技术要求；二是因为渠道壁垒，气体行业的销售网络铺设周期一般较长、难度较大，一旦在区域内确立竞争优势，会形成较高的竞争门槛，因此海外巨头提前占据市场形成优势。三是资金壁垒，电子气体行业投资大，产品认证周期很长，资本回报相对较慢，这也成为阻碍行业新进入者的门槛，而已有规模化企业可以凭借已有的产品产生的现金流孵化培育新品，承担前期测试和认证成本。总体而言，研发平台、下游厂商渠道和现金流是极为关键的几大因素。随着全球半导体产能转移向中国，集成电路产业链国产化进程加速，电子气体市场需求不断增加。
含氟特气占特气比例超过30%，应用领域广阔。电子特气主要品种多达上百种，被广泛应用于芯片制造的各个工艺流程中。根据《几种含氟电子气体发展的思考》，在众多品类的电子特气中，含氟电子特气约占总需求的30%左右。氟原子有极强的反应活性和较大的电负性，因此可以生产各种有特殊性能的含
氟化合物，用作清洗剂、蚀刻剂、掺杂剂、成膜材料等。主要的含氟电子气体包括三氟化氮(NF3)、四氟
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