碳化硅 单晶生长炉 内部结构
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安化新闻
碳化硅单晶生长炉是一种以碳化硅材料为介质运行的特殊用途炉具,具有高温、耐腐蚀、热稳定性高等特点。它通常由金属体、金属衬里、热电偶、工作室、热电偶保护筒、热电偶支架、炉嘴、炉盖等部件组成。
碳化硅用途金属体具外形尺寸顶出式或翻盖式,内部构造为锁扣槽和架子,提供了工作室的良好的密封结构;金属衬里一般由耐高温的碳基硅酸盐粉体质组成,可以起到保护金属体的作用;热电偶安装在工作室的底部,其热电性能良好,可以准确测量和控制温度;热电偶保护筒只是为了保护热电偶,热电偶支架作用是将热电偶固定在正确的位置上;炉嘴的形状通常为圆锥形,其作用是将碳化硅晶体放入炉体;炉盖的设计可以有效地控制碳化硅晶体的增长速度,最大程度地保证晶体的质量。中国十大网游排行榜
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