一种碳碳化硅靶材及其制备方法和用途[发明专利]
好看电视推荐专利名称：一种碳碳化硅靶材及其制备方法和用途专利类型：发明专利
发明人：姚力军，边逸军，潘杰，王学泽，杨慧珍
申请号：CN202110199569.5
申请日：20210222
公开号：CN113004040B
英文游戏名称
碳化硅用途公开日：
台湾特产20220506
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专利内容由知识产权出版社提供
城镇居民医保摘要：本发明提供一种碳碳化硅靶材及其制备方法和用途，所述碳碳化硅靶材的制备方法通过将碳粉和碳化硅粉混合后经两次球磨，并在二次球磨之间进行干燥处理，后续再经装模、烧结和冷却，得到所述碳碳化硅靶材。所述制备方法的制备工艺简单，且二次球磨结合烧结工艺能够制得致密度≥99.0％的碳碳化硅靶材。所得碳碳化硅靶材的微观组织均匀致密且靶材溅射性能优良，应用在3D打印或热敏打印等领域可有效提高打印设备工作效率及使用寿命，应用前景广阔。
申请人：宁波江丰电子材料股份有限公司
地址：315400 浙江省宁波市余姚市经济开发区名邦科技工业园区安山路
国籍：CN
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