非对称三维叉梳微柱阵列电极结构超级电容器制备方法
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利说明书
(10)申请公布号 CN 113035590 A
(43)申请公布日 2021.06.25
(21)申请号 CN202110290457.0
(22)申请日 2021.03.18
(71)申请人 清华大学
    地址 100084 北京市海淀区精密仪器系9003楼4504室
(72)发明人 尹亚江 王晓峰 尤政
(74)专利代理机构 11001 北京国林贸知识产权代理有限公司
    代理人 李富华
(51)Int.CI
      H01G11/86(20130101)
      H01G11/26(20130101)
      H01G11/28(20130101)
                                                                  权利要求说明书 说明书 幅图
(54)发明名称
      非对称三维叉梳微柱阵列电极结构超级电容器制备方法
(57)摘要
      本发明公开了属于微型超级电容器领域的一种非对称三维叉梳微柱阵列电极结构超级电容器制备方法，所述超级电容器采用ICP刻蚀与激光雕刻等微纳加工工艺，设计制备出叉梳微柱阵列电极结构，在叉梳微柱阵列电极结构表面溅射一层金作为集流体，继而分别在正极与负极微结构表面沉积赝电容与双电层电容材料薄膜，制备出非对称式微型MEMS超级电容器。通过叉梳式微柱阵列电极结构，有效提升了电极比表面积，同时非对称超级电容器体系可综合双电层电容和赝电容储能机制，可拓宽电化学稳定窗口，提升器件储能密度，可应用于物联网节点电源、个人电子产品等领域。
法律状态
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2021-06-25
公开
公开
2021-07-27
icp申请实质审查的生效
实质审查的生效
2022-12-16
发明专利申请公布后的驳回IPC(主分类):H01G11/86专利申请号:2021102904570申请公布日:20210625
发明专利申请公布后的驳回
权 利 要 求 说 明 书
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说  明  书
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